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尼康起诉艾司摩尔和卡尔蔡司侵权 半导体设备市场掀波澜

根据《路透社》的报导,日本光学大厂尼康(Nikon)于24日表示,已对荷兰半导体设备大厂艾司摩尔(ASML Holding NV)和合作伙伴卡尔·蔡司(Carl Zeiss AG)提起法律诉讼,并表示ASML及Carl Zeiss两家公司在未经Nikon的许可下将其微影(lithography)技术专利用于光刻机上,并运用在半导体制造业中。

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